ST Life.augmented
sense_power

MEMS圧力センサ

STの超小型シリコン圧力センサは、革新的なMEMS技術を使用することで、高精度の圧力測定機能を実現し、高度測定機能を超小型の薄型パッケージで提供します。 このデバイスはST独自の「VENSENS」と呼ばれる特殊なMEMS技術で設計されているため、圧力センサをモノリシック・シリコン・チップ上で組み立てることができます。したがって、ウェハ間ボンディングが不要になり、最高の信頼性を得ることができます。 また、従来のシリコン微細加工膜と比べてはるかに薄い膜をベースにしており、内蔵された機械式ストッパによる破損から保護されています。

高度を測定する場合には、ノイズがシステムの精度に大きな影響を及ぼします。 STは、センサのノイズを最小レベルまで低減しました。 そのため、数センチメートル以内の高度差を検出することができます。

STの圧力センサは、屋内および屋外でのナビゲーションに利用するGPS機能の強化、正確な高度測定、ならびにスマートフォン、タブレット、スポーツ・ウォッチ、測候所、車載アプリケーション、および産業アプリケーションで使用する気圧計としての用途向けに設計されています。

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