ST Life.augmented
sense_power

MEMS圧力センサ

STの超小型シリコン圧力センサは、革新的なMEMS技術を使用することで、高精度の圧力測定機能を実現し、高度測定機能を超小型の薄型パッケージで提供します。 このデバイスはST独自の「VENSENS」と呼ばれる特殊なMEMS技術で設計されているため、圧力センサをモノリシック・シリコン・チップ上で組み立てることができます。したがって、ウェハ間ボンディングが不要になり、最高の信頼性を得ることができます。 また、従来のシリコン微細加工膜と比べてはるかに薄い膜をベースにしており、内蔵された機械式ストッパによる破損から保護されています。

高度を測定する場合には、ノイズがシステムの精度に大きな影響を及ぼします。 STは、センサのノイズを最小レベルまで低減しました。 そのため、数センチメートル以内の高度差を検出することができます。

STの圧力センサは、屋内および屋外でのナビゲーションに利用するGPS機能の強化、正確な高度測定、ならびにスマートフォン、タブレット、スポーツ・ウォッチ、測候所、車載アプリケーション、および産業アプリケーションで使用する気圧計としての用途向けに設計されています。

Ultra-thin pressure sensor, dust-free and water resistant

The LPS25HB is offered in a fully molded package that provides the best thermal and mechanical robustness (high shock survivability > 10,000 g) while boosting performance and offering best trade-off between current consumption and noise. The device is built using ST’s new MEMS technology that allows the use of fully molded HLGA (Holed Land Grid Array) packages. Measuring just 2.5x2.5 mm and reaching thinness below 0.8mm, this revolutionary technology eliminates the need for a metallic or plastic cap.
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