LPS25H

概要

LPS25Hは、ピエゾ抵抗式の超小型絶対圧大気圧センサです。モノリシック･センシング素子と、センシング素子から情報を受け取り、外部にデジタル信号を提供できるインタフェースICで構成されています。

センシング素子は、単一の単結晶シリコン基板内に形成されたメンブレンで構成され、大気圧の検出が可能で、STが開発した専用プロセスを用いて製造されます。

メンブレンは、従来のシリコン･マイクロマシニングによるメンブレンに比べて非常に小さく、内蔵の機械式ストッパによって破損から保護されています。

また、標準CMOSプロセスで製造されるインタフェースICは、センシング素子の特性に最適化した専用回路の設計に必要な高い集積度を実現しています。

LPS25Hは、穴付きLGAパッケージ（HLGA）で提供され、-30℃から+105℃と幅広い温度範囲での動作が保証されています。パッケージには穴が開いており、外気圧がセンシング素子まで到達できるようになっています。